扫描电镜与透射电镜的优缺点？

扫描电镜与透射电镜的优缺点分析

扫描电镜与透射电镜在样品处理、成像原理以及对样品的要求方面存在明显的差异。

结构差异

扫描电镜与透射电镜在样品在电子束光路中的位置上有所不同,透射电镜的样品在电子束中间，电子源位于样品上方，经过一系列电磁透镜放大电子光束，最终在荧光屏幕上展示出清晰的图像，而扫描电镜则通过样品末端，电子源在样品表面激发二次电子，随后通过一系列电磁透镜放大这些二次电子，最终在显示器上形成样品区域的放大图像，这两种方式从基本物理原理上讲没有实质性差别，但在样品处理和成像质量上存在一些不同。

基本工作原理

透射电镜的工作原理主要是利用电子束穿过样品时与样品中的原子发生散射,形成物镜下的放大实像，这种成像原理类似于凸透镜成像，但存在反差形成机制的理论，样品内部如果均匀且没有晶界，那么成像效果将更为清晰。

扫描电镜则主要通过激发样品中的二次电子来实现样品区域的放大成像,电子束通过样品表面，激发二次电子，然后被探测器接收并处理，最终在显示器上形成样品的放大图像，对于薄而均匀的样品，这种成像方式具有较高的分辨率和信噪比。

对样品的要求

扫描电镜制样要求

扫描电镜制样对样品的厚度没有特殊要求,可以采用多种 *** 将特定剖面呈现出来，由于显微图像的质量强烈依赖于样品的厚度，因此需要选择适当的制样 *** ，如切、磨、抛光或解理等 *** ，以获得高质量的图像，对于需要观察的特定区域，可能需要利用不同的化学溶液进行择优腐蚀，以产生有利于观察的衬度，但需要注意的是，腐蚀可能会引入部分人为的干扰，对样品中厚度极小的薄层来说，误差可能更大。

透射电镜对样品要求

透射电镜对样品的厚度有严格的要求,由于显微图像的质量强烈依赖于样品的厚度和均匀性，因此需要选择适当的制样 *** ，如通过聚焦离子束刻蚀(FIB)进行精细加工，为了获得高质量的成像结果，观测部位需要非常薄，通常只有几十纳米到几百纳米之间，初学者在制样过程中可能需要通过手工或机械控制提高成品率，同时需要注意避免过度削磨导致样品报废，对于透射电镜的观测点定位问题，可能需要采用其他技术如电子束扫描或光栅扫描等方式进行精确定位和分析。

扫描电镜与透射电镜在样品处理、成像原理以及对样品的要求方面存在明显的差异，选择适当的制样 *** 和提高制样技术水平对于获得高质量的扫描电镜和透射电镜图像至关重要。