多弧离子镀膜机操作流程？多弧离子镀膜机操作流程详解？

多弧离子镀膜机的操作流程包括准备阶段、开机阶段、镀膜阶段和结束阶段，首先进行设备准备和工作环境检查，然后开机进行真空处理，接着调整工艺参数，启动离子源进行镀膜，期间监控和调整各项参数以保证镀膜质量，最后关闭设备，进行清理和维护工作，整个操作流程需严格遵守操作规程，确保产品质量和安全。

多弧离子镀膜机的操作流程

开机准备

打开冷却水开关、空压机开关，确保空压机红色按钮处于开启状态，向下按则为关闭，随后,开启镀膜机的总电源开关。

放置玻璃基板

将玻璃基板置于样品托中，注意导电面应朝下,刻蚀带一侧需紧靠样品托的蓝色线条一侧。

预处理室操作

先进行预处理室放气，待放气完成后，拧紧放气阀，接着打开预处理室仓门，将样品托放置在推拉杆上,随后关闭仓门。

启动真空泵和真空计

打开机械A、机械B泵以及四个真空计。

基片预处理

打开角阀，当预处理室真空度达到2.0E1至5.0E1Pa之间时，依次关闭角阀、打开真空蒸镀室角阀，随后，启动直流溅射电源，调节电流至0.020-0.025A，对基片进行10分钟的轰击，完成后，将电流调至0A,关闭电源。

转移样品

再次打开A泵和角阀，等待真空度降至4.0E0以下（约十分钟），此时两边真空气压基本相同，然后关闭角阀和A阀，打开蒸镀室与预处理室之间的闸板阀，检查旋转台下的挡板，确保其处于合适位置，随后，将样品传送至蒸镀室，用机械手抓取样品托并保持在机械手上，再将推拉杆拉回至预处理位置，关闭闸板阀，降低蒸镀台至与机械手平齐,轻轻将样品托推入蒸镀台下的样品托导引槽。

高真空蒸镀

当蒸镀室真空度达到1.2E1Pa以下时，依次关闭角阀和机械A泵，打开闸板阀，将蒸镀室抽至高真空至7.0E-4Pa,这一过程大约需要2个小时。

按照上述流程操作多弧离子镀膜机，可以确保镀膜过程的顺利进行,获得高质量的镀膜产品。